top of page
โมเดล/สไตล์:
PC series
Slurry pump
|
คุณสมบัติ / ข้อมูลจำเพาะ
โมเดล/สไตล์
PC series
ชนิดของสินค้า
For CMP process/slurry
ข้อมูลสินค้า
This pump provides high chemical resistance, heat resistance and cleanliness, because all wetted parts are made of Fluorocarbon polymers.
The PC series has been designed to cope with CPM process and slurry-contained applications.
วัสดุหลัก
Liquid contact part: PFA, PTFE
การใช้งานหลัก
Circulation line for chemical feed unit, cleaning systems, and CMP unit handling fluid that contains slurry
ข้อมูลจำเพาะ
Liquid temperature during operation: 10 to 100°C
Maximum discharge capacity: 12, 24, 48L/min
Supply air pressure: 0.2 to 0.5 MPaG
※Read the operation manual before use.
หมวดหมู่สินค้า
Bellows pumps
bottom of page